密集散流器顶送，光学洁净室，因需要一段混和层，所以只适用于4m以上高大洁净室，其特点与全孔板顶送相仿；对于相对两侧格栅的板和相对两侧墙下部均匀布置回风口的回风方式仅适用两侧净间距小于6m的洁净室；
单侧墙下部布回风口仅适用对墙间距较小(如≤<2~3m)的洁净室。2) 水平单向流：只在第.一工作区达到100级洁净度，洁净室设备，当空气流向另一侧的过程中含尘浓度逐渐升高，1000级洁净室，所以仅适用于同一房间工艺过程有不同洁净度要求的洁净室；
洁净厂房的特点
(一)洁净室建造投资大
一般垂直单向流的洁净室，洁净室，主要包括室以下几部分：家内装修部分， 如墙面、顶面、地面、门、窗等；空调净化系统，包括制冷空调设备和管道配件、净化设备和配件等;消毒打菌系统；其它配套设施，如废水治理设备和管道、消防系统、供配电系统和自控系统，真空清扫系统等等。
(二)洁净室运行费用大洁净室根据净化级别不同，净化送风量大、新风量也大及温湿度都有相应的要求，因此空气热湿处理和空气输配的能量消耗大，耗电多，运行费用贵。
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