等离子清洗技术的最’大特点
不分处理对象的基材类型，均可进行处理，等离子清洗机，如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料(如:聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯)等原基材料都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。清洗的重要作用之一是提高膜的附着力，等离子机，如在Si衬底上沉积Au膜，经Ar等离子体处理掉表面的碳氢化合物和其它污染，明显改善了Au的附着力。等离子体处理后的基体表面，等离子，会留下一层含氟化物的灰色物质，可用溶液去掉。
等离子体表面处理仪的优点：
1.完全彻底地清除表面有机污染物。
2.清洗快速、操作简便、使用和维护成本极低。
3.非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害。
4.绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。
5.常温条件下清洗，被清洗物的温度变化微小。
6.能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。等离子体表面处理仪是一种小型化、超清洗设备。该款等离子体表面处理仪采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。这款等离子体表面处理仪外接一台真空非破坏性的泵，等离子发生器，工作时等离子体表面处理仪的清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面。这款等离子体表面处理仪短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被等离子体表面处理仪的真空泵抽走，这款等离子体表面处理仪的清洗程度达到分子级。
