超声波清洗机的日常保护与保养
1、维持清洗机的任务场合的通风、枯燥、干净，有利于装备的临时高效运转及优化任务环境条件；
2、洗净液过于龌龊时应及时处理，活期清算清洗槽、贮液槽内污垢，维持洗净槽内及外观的干净，可进步洗净槽的耐用性；
3、电气掌握箱及装备通风口远离水蒸汽、侵蚀性气体、粉尘，活期用收缩空气清算附着的灰尘；
4、活期测试装备的绝缘性能，腐蚀，超声波清洗机关于易老化电气组件活期检讨，检讨接地线，确保装备良好接地此名目须由具备专业经历的电工进行，；
5、活期测试电源，确认契合装备的电源电压请求，金属腐蚀机，避开在过高或过低的不稳固电源下临时任务；
6、带有过滤安装的装备，活期改换过滤芯；清洗机同时供给专业的滤芯超声波清洗机。
7、带有传动机构的，应按请求活期加注黄油、机油等光滑剂，半导体湿法腐蚀设备，活期改换加速机齿轮油，确保静止机件在良好光滑条件下任务；
特殊的电应用和光应用中有不断增长的提高性能的需求，这要求大大地改进硅以外的许多半导体的制造技术。
这些材料的例子包括锗，因为它有高于Si的电子迁移率，有可能与高-k栅介质集成；加工应力沟道Si MOSFET所需的SiGe；以及碳化硅SiC，其带隙很宽。除了最*先进的GaAs外，像GaN、InAs、InSb、ZnO等等一些Ⅲ-Ⅴ族半导体也越来越引起人们的兴趣。
RCA清洗法：依靠溶剂、酸、表面活性剂和水，在不破坏晶圆表面特征的情况下通过喷射、净化、氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。在每次使用化学品后都要在超纯水（UPW）中彻底清洗。以下是常用清洗液及作用。
