RCA清洗附加兆声能量后，江阴晶圆清洗机设备，可减少化学品及DI 水的消耗量，晶圆清洗，缩短晶片在清洗液中的浸蚀时间，减轻湿法清洗的各向同性对积体电路特征的影响，增加清洗液使用寿命。
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