在清洗过程中不仅要犒劳清洗剂的消耗，清洗设备，各种能源的消耗也是清洗成本的重要组成部分。碳氢清洗因为增加了真空系统和加热干燥，较卤代烃清洗增加了一些电力消耗。但其他部分的精心设计，精密金属件清洗设备，使得真空清洗干燥机的能耗总消耗与卤代烃清洗机接近。在卤代烃清洗机中为使沸点较低的清洗剂减少挥发损失并有效冷凝回收，必须在清洗槽上不设置冷凝区，并配置冷冻机组制冷。由于碳氢清洗剂沸点较高，汽车配件清洗设备，在真空清洗干燥机中只需采用25℃以下的冷却水就能保证冷却效果，从而省去了制冷机组的能源消耗。所有真空清洗干燥机均将气象清洗与真空干燥设置在一个槽中，利用气象清洗过程中蒸汽的热量给工件加热，使工件在真空干燥过程中利用自身的温度加速干燥。为了实现能源的再利用，真空清洗干燥机将各工作步骤排出的热风重新回到需要加热的部分循环利用，不仅节约了加热中的能源消耗，而且减轻了环境压力。
真空技术在清洗中的主要作用是：
脱出清洗剂中的空气，减少超声波的衰减。但在常压状态下，清洗剂中溶解的空气粒子遇到超声波时产生气泡，超声波的空穴作用会被大幅度衰减，清洗效果被减弱。在真空状态下，清洗剂中的气体会被脱出，从而避免了超声波的衰减。
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真空技术在五金零件清洗中的作用
真空清洗干燥机利用液体在真空状态下的物理变化，改变了碳氢清洗剂和被清洗物的某些特性，从而趋利避害，使碳氢清洗剂的优势得到更好的发挥。真空技术在清洗中主要作用是：
脱出清洗剂中的空气，减少超声波的衰减。为提高清洗效果，清洗机中一般都采用超声波技术，利用超声波振子每秒钟几万次频率的振动，发出超过人耳可听见的10万倍以上的声压。在真空状态下，CNC加工件清洗设备，清洗剂中的气体会被脱出，从而避免了超声波的衰减。这一效果可以从铝箔实验中得到验证：在清洗槽中分别加入未经真空脱气和经过真空脱气的碳氢清洗剂，使用相同功率的超声波对铝箔清洗一分钟，结果未经脱气的清洗剂可见轻微的震动，铝箔基本上无变化。而进过真空脱气的清洗剂剧烈震动，铝箔很快出现许多孔洞。
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