真空清洗工作原理：清洗剂中残存的气体较多，含气量是水的8-10倍，超声波振动子发出的高周波遇到气体（残存氧气）就会衰减，影响了超声波的精密清洗效果。超声波空化效应也难以展开，因此需要真空脱气。首先清洗篮进入清洗槽。这时气缸驱动槽盖自动关闭清洗槽，真空脱气系统启动，将槽内空气抽尽，在真空状态下可以将需要清洗的产品的狭小缝隙内气体及含在清洗剂中的气体抽出，超声波启动，摇摆装置启动，带动洗篮转动，使清洗剂可以充分进行清洗；到设定的时间后，真空释放，缸盖打开，清洗篮进入下一槽
真空蒸馏，使碳氢清洗剂再生重复使用。清洗剂的蒸馏再生，就是利用清洗剂与污垢之间的沸点差，将溶有油污的清洗剂加热到清洗剂的沸点以上而控制在油污的沸点以下，是清洗剂汽化，然后通过冷凝装置使之重新凝结成纯净的清洗剂，而沸点较高的油污和机械杂质则留在蒸馏罐的底部。卤代烃清洗剂由于沸点低且不可燃，蒸馏再生相对容易，所以，许多卤代烃清洗剂都附带有蒸馏再生装置。而碳氢清洗剂由于沸点高而闪点低，在常压下蒸馏再生是不肯能的。真空清洗干燥机的蒸馏再生装置在高真空下使碳氢清洗剂的沸点降低到80℃，使清洗槽中溶解了油污的清洗溶液不断地抽入蒸馏装置，在真空中加热蒸发，再经过冷凝成为清洁溶剂回到清洗槽中，使清洗液始终保持清洁状态。油污则留在蒸馏装置底部，定期排出。隔绝氧气，是碳氢清洗剂失去燃烧的条件。绝大多数碳氢清洗剂闪点都在50℃左右，在我国《常用危险化学品的分类及标志》（GB13690-92）中属于高闪点易燃液体。虽然闪点较高，但在高温或有助燃物（如纸和棉絮）的情况下任有燃烧危险。因此控制火险成为其推广使用必须解决的问题。燃烧需要可燃物、温度和氧气三个必要条件，只要缺少一项，燃烧就不肯能发生。在真空状态下氧气含量极低，在清洗、干燥和蒸馏再生的过程中，即使碳氢清洗剂的温度达到闪点以上，由于没有氧气，失去了燃烧的一个必要条件，碳氢清洗剂也不会燃烧，从而保证了使用安全。真空清洗干燥机用一套真空泵同时解决了清洗中的诸多问题，可以说是设备创新和设计的典范。
真空技术作用
真空技术在清洗中的主要作用是：
排除工件表面和孔隙中的空气，提高清洗效果。在传统清洗中，清洗效果不理想常常是因为盲孔、粗糙表面和细小缝隙中的空气不能排出，影响清洗剂的浸润，产生清洗盲区。应用真空技术后，可使部件表面、缝隙和盲孔内的空气全部排出，使清洗剂完全浸入工件的每个部位，使工件的各个部位都达到最hao的清洗效果。对于构造复杂、盲孔较深的工件，通过两次以上的抽真空和排气过程，也可以将空气全部排出。所以在真空状态下，清洗效果要比常压下更好。