等离子清洗技术
气体被激发成等离子态有多种方式，封装清洗，如激光、微波、电晕放电、热电离、弧光放电等多种方式，阜阳清洗，在电子清洗中，主要是低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体(Ar2、N2、H2、O2等)在高频低压下被激发，产生含有离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子。一般在等离子清洗中，可把活化气体分为两类，一类为惰性气体的等离子体(如Ar2、N2等);另一类为反应性气体的等离子体(如O2、H2等)。这些活性粒子能与表面材料发生反应。
等离子体所承担的首‘个国家重点研发项目启动会召开
国家重点研发计划“大科学装置前沿研究”重点专项“高密度下加热及电流驱动效率和协同效应研究”项目启动会召开
10月10日，国家重点研发计划“大科学装置前沿研究”重点专项“高密度下加热及电流驱动效率和协同效应研究”项目启动会在等离子体所召开。科技部高技术研究发展中心、项目专家组、等离子体所以及项目课题成员共五十余人与会。詹文龙院士担任项目专家组组长。
