喷雾风扇送风喷雾风扇是在通风机上装有喷雾装置的局部送风设备，即在普通轴流风机上加设甩水盘构成（图3-1-4和3-1-5所示）。 喷雾风扇送风具有降温作用，雾洒落在人体表面又能促进人体蒸发散热，悬浮在空气中的小雾滴还能吸收热辐射，减轻人体受热辐射的影响。但也会引起人造汗。 要求：要求喷雾风扇应有足够的风量、喷雾量和射程；喷雾的水滴<60μm，最-大不超过100μm。风速不大于3～5m/s。 应用：喷雾风扇适用于高温、强热辐射的工作地点。用于温度高于35℃，辐射强度大于1400W/m2，宁德无尘车间，细小雾滴对生产工艺无影响的中、重作业点。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，无尘车间方案，如果发生在精密装置或 电路中，无尘车间 万级，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿
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