温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，无尘车间厂，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
用通风方法改善车间的空气环境，一方面在局部地点或整个车间把不符合卫生标准的污浊空气排至室外，另一方面，把新鲜空气或经过净化符合卫生要求的空气送入室内。我们把前者称为排风，把后者称为进风。如果只对局部地点进行排风或送风，即局部通风；如果对整个车间进行排风或送风，万级无尘车间，则为全面通风。通常，按通风系统的作用范围不同，建无尘车间，可将通风分为局部通风、全面通风和事故通风。局部通风系统又分为局部进风和局部排风两大类，它们都是利用局部气流，使局部工作地点不受有害物的污染，造成良好的空气环境。 （一）局部排风 在集中产生有害物的局部地点，设置捕集装置，将有害物排走，无尘车间，以控制有害物向室内扩散，这种通风方法称为局部排风。这是防毒，排尘最有效的通风方法。局部排风系统的组成如图3-1-1所示。
