因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)-氖(Ne)激光作为首代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，激光混合气减压阀，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，激光混合气，可称为第三代激光。
典型示例:激光混合气
激光混合气
组分与浓度范围
H2
CO
CO2
N2
He
0.3%
3%
6.5%
13%
77.2%
采用40升钢瓶，充装压力10MPa
激光混合气 -概述 气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光激光混合气
[1]混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜（面）和电极上的耗损，激光混合气钢瓶，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为首代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。
产品用途
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡气 氦-氖激光混合气
1. 2.0-8.3 He用于工业生产、科学研究和国防建设等领域 二氧化碳激光混合气
2. 0.4 13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-124.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 2.0 4.0 4 He He He He He He主要用于激光加工、如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上用的激光外科等 氪-氟激光混合气
3. 510 1-1.2 He He用于保护膜暴光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 密封束激光混合气
4. 18.5 32.5 H2作研究用的密封激光器 准分子激光混合气
5. 25.89.80.004 1 5 0.2 5Ar He He Ar准分子激光器用于医疗上的外科手术
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