美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，洁净室，最-好的等级为Class 1，最差则为Class 8，洁净室工程，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
洁净室洁净度受哪些因素影响：
室内气流流型及分布情况
单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；
洁净室的洁净程度是非常重要的，直接关系到产品的质量问题，承接洁净室，因此，很多厂家绞尽脑汁的去解决这一问题，到头来反而没有收到多少成果。为什么会这样呢？没有明白洁净室的污染源来自于哪里。因此了解污染来源才能够减少污染，达到最-大程度上的洁净。
