复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，生产洁净室，可提供局部超洁净之空气。
垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，吴江洁净室，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，千级洁净室，维修更换过滤器较麻烦。
洁净室换气次数与洁净度有怎样的联系？
换气次数是通入室内的洁净空气量相当于房间体积的倍数，其单位是次/h。如果一小时内通入的空气量和房间体积一样，换气次数就是1次/h，以此类推，洁净室，换气次数是乱流洁净室决定洁净度水平的最主要参数。换气次数越大，洁净度级别越高。换气次数可以根据要求的空气洁净度级别、室内人数、房间面积、室内其他发尘量和新风比通过公式求出来，特别是动态条件下更需要针对具体条件进行计算。
