等离子体由离子、电子以及未电离的中性粒子的集合组成，等离子，整体呈中性的物质状态。等离子体可分为两种：高温和低温等离子体。等离子体温度分别用电子温度和离子温度表示，在线等离子处理设备，两者相等称为高温等离子体；不相等则称低温等离子体。低温等离子体广泛运用于多种
等离子体发生器
生产领域。例如：等离子电视，在线等离子表面处理机，婴儿尿布表面防水涂层，增加啤酒瓶阻隔性。更重要的是在电脑芯片中的时刻运用，让网络时代成为现实。
高温等离子体只有在温度足够高时发生的。恒星不断地发出这种等离子体，组成了宇宙的99%。低温等离子体是在常温下发生的等离子体（虽然电子的温度很高）。低温等离子体可以被用于氧化、变性等表面处理或者在有机物和无机物上进行沉淀涂层处理。
等离子体利用的是在0.13～13.3Pa的低真空条件下生成的离子
1. 33X10-5Pa高真空度下得到的离子射线法是有区别的。
2．等离子体在精密清洗中的应用
利用等离子体的干式清洗机理，目前还不完全清楚，感兴趣的读者可查阅有关专业书籍，这里只介绍一些具体应用。
目前应用于等离子体清洗的气体包括N2、Ar、NF3、CF4等不活泼气体和氧气等活泼气体。
