等离子体表面处理仪的产品特征:
* 紧凑的台式设备、没有RF放射、符合CE安全标准。
* 功率为低、中、高三档可调。
* 两种型号:
基本型:PDC-32G-2
清洗舱:长6.5英寸,bonging清洗,直径3英寸;
整机尺寸:8英寸H×10英寸W×8英寸D
扩展型:PDC-002
清洗舱:长6.5英寸,苏州LCD基板清洗,直径6英寸;舱盖具备铰链和磁力锁,并有一个可视窗口。
整机尺寸:11英寸H×18英寸W×9英寸D
等离子体表面处理仪除了PDC-32G-2 基础型和PDC-002 扩展型 两种常规机型的等离子清洗机以外,我们还提供以下配件选项:气流混合器 配套进口真空干泵 进口真空油泵
等离子束射线清洗
在高真空度下,清洗,用强电场(几千伏到几十千伏)对电子加速撞击金属表面可以产生、离子束。加速后的离子束有很强的清洗作用。由于离子束有固定的运动方向易于控制,可把离子束作用集中于一点进行清洗处理,所以特别适合用于超精密工业清洗中,这种方法叫离子束射线清洗法,其装置示意图如图10-36所示。 这种方法的缺点是装置造价昂贵,上海LCD基板清洗,只用于特殊用途。
激光清洗
激光是一种具有高能量的单色光束,聚焦后的激光可形成104~1015w/cm2功率密度的照射。目前国外已开始研究把激光束高功率(高亮度)高方向性的特性应用于清洗领域。
当把激光束聚焦于物体表面时,在10-11s内把光能转变成热能,使表面的污垢熔化而被去除,可在不熔化金属的前提下把金属表面的氧化物锈垢除去。