光伏产业等离子应用
光伏产业对清洁生产的要求非常苛刻。太阳能级的硅片虽然纯净度不需要达到电子级，但是6个9的纯度也还是很高的。在切片等过程中，硅片或多或少会接触到各种污染源，FOG端子清洗，因此清洗显得至关重要。等离子清洗是经常用到的一种方法。这些自由基会进一步与材料表面作反应。
其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，在压力较高时，lcd等离子清洗，对自由基的产生较有利，清洗，所以若要以化学反应为主时，就必须控制较高的压力来近进行反应。
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
