空气等离子表面处理机产品应用产业
．STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO电极表面清洁
．COF (ILB) 或COB制程的电极表面清洁
．LCD或OLED的玻璃清洁
．IC封装（Flip Chip，等离子发生器， CSP， BGA， TCP， or Lead Frame， etc.）或LED封装的表面清洁或改质
．PCB的表面清洁、活化、改质或去残胶
．晶圆的表面清洁或去光阻
．工业电子组件之表面清洁、活化或改质
．印刷或粘着前之表面粗化或清洁
．镀膜、去光阻及蚀刻
等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。就以下三个部分做一个陈述：
一、控制单元：
目前国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，在线等离子表面处理机，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，低温等离子表面处理机，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子，等离子，主要的功能作用，前面已经提到了，这里就不一一介绍了。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。
