等离子清洗技术
CFC清洗在过去的清洗工艺中占有最重要的地位，等离子，但由于其损耗大气臭氧层，而被限制使用。对于替代工艺，美国等离子，在清洗过程中，不可避免地存在需后续工序的烘干(ODS类清洗不需烘干，但污染大气臭氧层，目前限制使用)及废水处理，人员劳动保护方面的较高投入，特别是电子组装技术、精密机械制造的进一步发展，对清洗技术提出越来越高的要求。环境污染控制也使得湿法清洗的费用日益增加。
等离子体表面处理仪的优点：
1.完全彻底地清除表面有机污染物。
2.清洗快速、操作简便、使用和维护成本极低。
3.非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害。
4.绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。
5.常温条件下清洗，被清洗物的温度变化微小。
6.能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。等离子体表面处理仪是一种小型化、超清洗设备。该款等离子体表面处理仪采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。这款等离子体表面处理仪外接一台真空非破坏性的泵，工作时等离子体表面处理仪的清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面。这款等离子体表面处理仪短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被等离子体表面处理仪的真空泵抽走，这款等离子体表面处理仪的清洗程度达到分子级。
