等离子体的技术
60年代，美国离子弧公司以锆英砂为原料在直流电弧等离子体中一步裂解制备氧化锆。70年代末，清洗，中国以硼砂和尿素为原料，在直流电弧等离子体中制备高纯六方氮化硼粉，该法具有产品纯度高、成本低、工艺流程简单等优点。此外，喷码清洗，还可利用等离子技术生产二氧化钛。
主要特点为：
①等离子体中具有正、负离子，可作为中间反应介质。特别是处于激发状态的高能离子或原子，可促使很多化学反应发生。
等离子体本身是一种良导体，FOG清洗，所以能利用磁场来控制等离子体的分布和它的运动，这有利于化工过程的控制。
④热等离子体提供了一个能量集中、温度很高的反应环境。温度为104～105℃的热等离子体是目前地球上温度最‘高的可用热源。它不仅可以用来大幅度地提高反应速率，而且还可借以产生常温条件下不可能发生的化学反应。此外，热等离子体中的高温辐射能引起某些光电反应。
应用
①以热等离子体制备乙炔、硝酸、联氨和炭黑等产品。
②用热等离子技术合成高温碳化物、氮化物和硼化物，如碳化钨、氮化钛等。
③用热等离子技术制备超细粉末，如0.01～1μm的三氧化二铝、二氧化硅和氮化硅粉末。
④冷等离子体中的聚合薄膜的形成或清洗，如半导体工业中的氧化硅膜。
⑤在冷等离子体中实现材料表面改性，如离子氮化、渗碳等工艺。
⑥等离子体技术应用于油气田生产，可进行深部解堵。
