洁净室的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外，洁净室建设，还要提供更多东西，例如把洁净的空气送入房间，支撑加工艺设备，为必要的设备维修提供方便的通道，并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。洁净室的地板也提供了电力系统的接地，起到传导和静电耗散的作用，消除ESD积累。
由于所有这些原因，洁净室的地板成为整个洁净室中最重要的组成部分。然而，很多设备经理或工具安装人员，在使用洁净室时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子，人们要进入地板下面的空间时，就会认识到——由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块；然后，在把地板块放回原处的时候，通常地板块无法完全复原，洁净室，不得不用脚用力在上面跺。而且，在使用工具翻开地板块的时候，洁净室报价，经常会损坏它们。
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100-%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，洁净室企业，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
