单晶片清洗 ：
大直径晶片的清洗采用上述方法不好保证其清洗过程的完成，腐蚀，通常采用单晶片清洗法，其清洗过程是在室温下重复利 用DI-O 3/DHF清洗液，TMAH腐蚀设备，臭氧化的DI水（DI-O3 ）产生氧化硅，稀释的HF蚀刻氧化硅，同时清除颗粒和金属污染物。
在批次清洗工艺还是在单晶圆清洗工艺中，传统的浸没清洗仍起主导作用。在单晶圆清洗工艺时，这一趋势由于太阳电池清洗技术的需求而强化。该技术中，由于被加工衬底的剪切数目(shear number)，可选用批次加工方法。可以使选择气相清洗化学过程与批次加工兼容。但同时，单晶圆清洗方法（如旋转清洗）正推进到高端应用领域。
民用清洗机
在财发作打造劳动过程当中触及到的清洗机都属于财打造清洗机的范畴。食品财打造。纺织财打造。造纸财打造。印刷财打造．石油加财打造。交通运输业，KOH腐蚀台，电力财打造、金属加财打造、机械财打造．汽车打造，仪器仪表，电子财打造、邮电通讯、家用电器．医疗仪器。光学打造品、军事设备，航空航天，原子能财打造等都大量应用到清洗机手艺。
清洗机 概略从不同的角度发展分类，按照清洗机范畴的不同，MEMS腐蚀设备，当前通常将清洗机分为民用清洗机与财打造清洗机两类
清洗机 是一种与人们保存实际干系尤其密切的劳动，人类从泰早期间就劈头从事这类劳动。由于保守?清洗机操作容易，或只是作为一道工序依附于生打造过程当中，不有引起广?泛关注。进入21世纪，人们保存已?经从温饱阶段进入到舒应时代，对于清洗机打造品越来越多的重要，加快了新打造品研发挨次；同时，打造业的高速发展，也促成了清洗机装备、清?洗剂等企业的快速前进。民用、财打造两大清洗机范畴宏壮的市场重要，培育种植提拔了中国清洗机行业簇新的将来。
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