圆晶清洗设备供应,圆晶清洗,苏州晶淼半导体(多图)

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     苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、高端PP/PVC通风柜/厨、CDS化学品集中供液系统一站式解决方案。精良的产品质量是我们的根本,超客户预期是我们的自我需求! 清洗的注意事项:(1)关机重...


品牌 苏州晶淼半导体
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     苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、高端PP/PVC通风柜/厨、CDS化学品集中供液系统一站式解决方案。精良的产品质量是我们的根本,超客户预期是我们的自我需求!



清洗的注意事项:


(1)关机重启后,圆晶清洗台,时间间隔1分钟以上,圆晶清洗,否则可能会造成电气损坏;

(2)设备运行中,圆晶清洗设备供应,注意去离子水流量不得超过允许值,否则可能由于排放受阻而造成机器损坏;

(3)每次运行完毕后取出片子时,注意卡塞口是否朝上,纠正后再取出,否则片子会掉出来;

(4)一旦发现水路的关联件出现“漏水”、“滴水”现象应立即关机,检修后再运行。



      在清洗工艺中,圆晶清洗机哪家好,去除刻蚀后的光刻胶残渣是半导体行业的一大技术难点,尤其是经过高浓度离子注入的光刻胶,注入的阳离子和光刻胶中的碳形成很强的化学键,使光刻胶表面高度交联,形成一层高度致密、耐腐蚀的碳化硬壳,大大增加了光刻胶的去除难度。




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