在清洗工艺中,rca清洗机,去除刻蚀后的光刻胶残渣是半导体行业的一大技术难点,无锡rca清洗机台设备,尤其是经过高浓度离子注入的光刻胶,注入的阳离子和光刻胶中的碳形成很强的化学键,连云港rca清洗机台,使光刻胶表面高度交联,形成一层高度致密、耐腐蚀的碳化硬壳,大大增加了光刻胶的去除难度。
清洗安全操作规范:
(1)药品使用完后,必须把瓶盖拧紧并放到安全处;
(2)工作台前的外窗门,在使用时和使用后,均应拉下封闭,防止试剂污染晶片和超净间,危害员工健康;
(3)废液回收时一定要两人同时在场。
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