清洗操作的注意事项：
在清洗机内作业时，昆山晶圆清洗系统，打开机器的通风设备，晶圆清洗，关闭外窗门，以防止有机溶剂气体扩散到清洗间，污染样品，上海晶圆清洗设备，损害操作人员健康； 保持清洗机内的清洁卫生，不摆放除超声设备、烧杯、花篮以外的其他设备。
氨水加氧化剂清洗液
氨水加氧化剂清洗液配方为: NH4OH∶H2O2∶H2O=1∶10∶10~1∶20∶20，江阴晶圆清洗机设备，温度为25~40℃，时间10~30min。由于这种清洗液具有碱性、氧化性和络合性，可以发生氧化反应、产生微蚀刻作用，以达到去除表面颗粒的目的，可以去除一些有机污染物及部分重金属离子污染物。
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