RCA清洗法 :
最初,苏州单晶圆清洗机设备,人们使用的清洗方法没有可依据的标准和系统化。1965年,江阴晶圆清洗机设备, RCA(美国无线电公司)研发了用于硅晶圆清洗的RCA清洗法,并将其应用于 RCA元件制作上。该清洗法成为以后多种前后道清洗工艺流程的基础,晶圆清洗,以后大多数工厂中使用的清洗工艺基本是基于最初的RCA清洗法。
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