空气等离子表面处理机产品应用产业
．STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO电极表面清洁
．COF (ILB) 或COB制程的电极表面清洁
．LCD或OLED的玻璃清洁
．IC封装（Flip Chip， CSP，在线等离子处理设备， BGA， TCP， or Lead Frame， etc.）或LED封装的表面清洁或改质
．PCB的表面清洁、活化、改质或去残胶
．晶圆的表面清洁或去光阻
．工业电子组件之表面清洁、活化或改质
．印刷或粘着前之表面粗化或清洁
．镀膜、去光阻及蚀刻
热等离子体
热等离子体应用热等离子体的温度为0.1～4电子伏，电流为1～100安及以上。这类等离子体处于热平衡态，电弧、等离子体炬属于这一类。主要用于难熔金属冶炼、机加工等。
热等离子体发生装置 可采用直流、交流或射频电源。图1为几种不同装置示意。图1a中，在线等离子表面处理机，同轴旋转的气流吹入气室，在线等离子清洗机，在水冷的正极（+）和负极（-）之间形成电弧。温度为8000～30000开，功率为20～75千瓦，热效率为55～85%。由于电极的烧蚀，这种装置的运行时间不长，合肥等离子，约 100小时。
等离子技术的应用——航空航天电连接器
电连接器中的绝缘体与封线体之间的粘接效果一直影响着国产电连接器的发展，尤其在航空航天中对电连接器的要求更苛刻，未经表面处理的绝缘体与封线体之间的粘接效果非常差，即使使用专用配方的胶，其粘接效果也达不到要求；另外，如果绝缘体和封线体之间粘接不紧密，就可能会产生漏电，使得电连接器的耐压值提不上去。
