在滤液出口处形成负压作为过滤的推动力。工业真空过滤器操作真空的绝1对压力为(2.5～8.0)×105帕。过滤时悬浮液的温度应低于操作真空下滤液的汽化温度。这种过滤器又分为间歇操作和连续操作两种。间歇操作的真空过滤机可过滤各种浓度的悬浮液。真空过滤器在容器外壳内充满悬浮液。两侧包有滤布的滤叶浸于悬浮液中，滤叶内腔与真空系统连通。滤液吸出后由导管引出，积在滤叶表面的滤渣在停机后清除。
过滤器
常用的加压过滤是利用滤室容积变小或施加机械压榨力进行过滤，过滤器，滤渣含湿量较低，适用于固体颗粒浓度高的悬浮液。在带式压榨过滤器中，经重力或真空初步脱液后的湿滤渣夹在两条滤带之间移动，真空过滤器，再经辊子挤压脱液。螺旋压榨过滤机具有带孔隙的圆筒，其中有旋转的螺旋，螺旋槽深不等，物料由深槽端加入推向浅槽端，滤室空间逐渐减小，物料受到压榨，滤液由圆筒的孔隙排出，滤渣由小端排出。
在国外项目中和国内新项目中，F8过滤器是非均匀流洁净室最常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更高级别的洁净厂房，PP过滤器，预过滤器的常见效率级别为H10，许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高效。那时高效过滤器的使用寿命仅为1--3年，最差的也就几个月。可见，预过滤器的效率高低决定末端过滤器使用的寿命。
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