过滤器
用于过滤器性能实验台上面，PP过滤器，这种试验台在试验前都要对系统严格净化，因此试验系统和为试验系统服务的污染注入系统都需配有过滤器，这中过滤器和被试验的过滤器是两回事儿，它的精度要求，污物容纳量要求要比被试验的过滤器精度高，为区别同一试验系统中的两类过滤器，这种过滤器称为试验台过滤器，被试验的过滤器称为被试过滤器。
过滤器
循环过滤器设在油箱循环的回油路上，系统的容量大，所以在要求要求严格的清洁度时往往被采用，即使系统不在工作，也可以把油箱内污染物捕集到，因此，过滤器，降低污染浓度的效率最1好。另外安装着冷却器，具有可以同时进行冷却、容易维修等优点。但需要用专用泵和电机，造价高。
空气过滤器设在油箱上，具有防止污染物由于油箱的油量变动而随空气混入油箱。因此过滤精度要具有与过滤器同等以上的性能，容量要留有充分余地，以防由于孔阻塞使油箱内压变成负压，引起泵的空穴现象。在周围环境恶劣时尤其要注意。
在国外项目中和国内新项目中，微孔精密过滤器，F8过滤器是非均匀流洁净室最常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更高级别的洁净厂房，预过滤器的常见效率级别为H10，许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中，聚丙烯真空过滤器，过滤器常见配置为：粗效中效高效。那时高效过滤器的使用寿命仅为1--3年，最差的也就几个月。可见，预过滤器的效率高低决定末端过滤器使用的寿命。
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