洁净室:
定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。
特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,手术洁净室,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
(2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激1活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
脱无尘服之注意事项: 1.出洁净室后脱下手套洗手完毕才可开始脱无尘鞋、无尘衣。 2. 脱无尘服程序:(1)手套 (2)鞋子 (3)衣服 (4)头罩 (5)发罩 (6)口罩。 洁净室丢弃物的处理: 1.所有丢弃物及用过之化学品应依规定之方式处理及倾倒。 2.随时保持整洁,勿将垃圾留给别人,棉花棒、废弃物勿随手丢,莱芜洁净室,应置入垃圾桶内。 3.勿将酸及有机1溶剂混合倾倒,洁净室制造,以免爆1炸。 4.各种酸硷废液需倒入指1定之排放口,以便中和后排放。 5.有机1溶剂分别倒入容器中储存,勿倒入排水系统中。 其他注意事项: 1.非必要勿进入洁净室,可利用传递箱传递芯片及物品。 2.勿在洁净室内踏步来回走动。 3.非必要禁止停留在洁净区域内。
洁净室洁净度受哪些因素影响:
室内气流流型及分布情况
单向流要求均匀、平等的流线,生产洁净室,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层;
洁净室的洁净程度是非常重要的,直接关系到产品的质量问题,因此,很多厂家绞尽脑汁的去解决这一问题,到头来反而没有收到多少成果。为什么会这样呢?没有明白洁净室的污染源来自于哪里。因此了解污染来源才能够减少污染,达到最zui-大程度上的洁净。