温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，100级无尘车间，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
无尘室风管的制作
A、风管吊装
1、风管的连接:
2.在净化空调系统中，其法兰垫应为不产尘、不宜老化和具有一定强度和弹性的材料，厚度为5～8mm，不得采用乳胶海绵；并不允许直缝对接连接，接缝采用梯形连接严禁在垫料表面涂涂料；其螺母宜在同一侧法兰接口的连接应严密、牢固。垫片不应凸入管内，淮南无尘车间，亦不宜突出法兰外.3.风管空气温度70度以下， 法兰垫应为橡胶板，无尘车间 厂房，闭孔海棉橡胶板密封胶带或其他弹性闭孔材料.4.风管空气温度70度以上，无尘车间厂， 法兰垫应为石棉橡胶板.
检测标准：
1.气流速度及其均匀度检测，这项检测是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。2.系统或房间的风量检测。3.室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4.自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。5.气流流型检测。
