.STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO电极表面清洁
.COF (ILB) 或COB制程的电极表面清洁
.LCD或OLED的玻璃清洁
.IC封装(Flip Chip,南平清洗, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.)或LED封装的表面清洁或改质
.PCB的表面清洁、活化、改质或去残胶
.晶圆的表面清洁或去光阻
等离子体技术行业应用
等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的'活性'组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
光伏产业等离子应用
光伏产业对清洁生产的要求非常苛刻。太阳能级的硅片虽然纯净度不需要达到电子级,但是6个9的纯度也还是很高的。在切片等过程中,硅片或多或少会接触到各种污染源,因此清洗显得至关重要。等离子清洗是经常用到的一种方法。这些自由基会进一步与材料表面作反应。
其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应,在压力较高时,对自由基的产生较有利,所以若要以化学反应为主时,就必须控制较高的压力来近进行反应。
等离子体聚合反应
在适合的条件下,柔性板清洗,差不多所有有机化合物都能通过等离子体进行聚合。一般用光化学或自由基引发的气相聚合只限于乙烯基的有机化合物。除非单体分子含有“极化团”,也只能得到低分子量的聚合物,如苯乙烯、甲异酮等在气相中都不能聚合,pcb清洗,除非它们先经过光敏化。相反地,等离子体聚合则不限于乙烯基类的单体,它包括普通方法不能聚合的一些单体分子。①等离子体聚合饱和的脂肪族烃。电子碰撞单体分子,产生活性粒子,主要是自由基,其次是离子及被激励的分子。