光伏产业等离子应用
光伏产业对清洁生产的要求非常苛刻。太阳能级的硅片虽然纯净度不需要达到电子级，但是6个9的纯度也还是很高的。在切片等过程中，硅片或多或少会接触到各种污染源，因此清洗显得至关重要。等离子清洗是经常用到的一种方法。这些自由基会进一步与材料表面作反应。
其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，在压力较高时，对自由基的产生较有利，所以若要以化学反应为主时，烟台清洗，就必须控制较高的压力来近进行反应。
等离子清洗机
采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，pcb清洗，因此具有产率高的特点；
等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
等离子体聚合反应
在适合的条件下，OLED清洗，差不多所有有机化合物都能通过等离子体进行聚合。一般用光化学或自由基引发的气相聚合只限于乙烯基的有机化合物。除非单体分子含有“极化团”，也只能得到低分子量的聚合物，如苯乙烯、丙烯腈、甲异丙醇酮等在气相中都不能聚合，除非它们先经过光敏化。相反地，等离子体聚合则不限于乙烯基类的单体，封装清洗，它包括普通方法不能聚合的一些单体分子。①等离子体聚合饱和的脂肪族烃。电子碰撞单体分子，产生活性粒子，主要是自由基，其次是离子及被激励的分子。
