尽管洁净室仍然需要过滤空气，但过滤器的数量逐渐从完全覆盖率降低到到35%覆盖率。结果，流过整个空间和经过架空地板的空气流量减少，穿孔地板的数量减少了，从而在洁净室里更多地使用实心地板。
传统的地板系统的接地方法在工业中没有多大改变。通常的方法是夹在支架上，然后连在一起接到建筑物的接地系统里。防静电地板已经被广泛应用，工业洁净室，它利用特殊的具有耐化学腐蚀性的乙烯基材料，而且含有碳元素，实验洁净室，具有必要的导电率。地板块的下方，洁净室工程，每个支架顶端，放置一个乙烯基/铁丝网接地垫。这保证系统中电流正确贯穿所有构件。
企业洁净室的建设，不仅能将产品生产空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，保证生产环境洁净无尘；还能有效控制因微生物等引起的产品感染、提升产品质量。也是现在发展的一大趋势。深圳市中建南方净化设备有限公司，从事净化工程的设计施工工作十余年，经验非常丰富。其负责人表示：近些年来，洁净工程的建设已经受到很多企业的重视，不只医药企业，相当多生产企业也纷纷建设了洁净厂房。洁净无尘的生产环境已经成了企业先进生产的一大标志
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，莆田洁净室，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
