1、净化原理
气流→初、中效净化→空调→风机送风→高效净化风口→吹入房间→回风百叶风口→带走尘埃等颗粒→重复以上过程，即可达到净化目的。
净化参数
换气次数：100K级≥25次；10K级大于等于35次，上海洁净室，1K大于等于45次。压差：主无尘室对相邻房间≥5Pa
2、无尘室的分类
无尘室依等级的不同在气流设计上面有所区别，无尘洁净室，一般可分为垂直层流方式（Class1-100）、水平层流方式（Class1-1000）、乱流方式（Class1000_100000）
脱无尘服之注意事项： 1．出洁净室后脱下手套洗手完毕才可开始脱无尘鞋、无尘衣。 2. 脱无尘服程序：(1)手套 (2)鞋子 (3)衣服 (4)头罩 (5)发罩 (6)口罩。 洁净室丢弃物的处理： 1.所有丢弃物及用过之化学品应依规定之方式处理及倾倒。 2.随时保持整洁，洁净室工程，勿将垃圾留给别人，吴江洁净室，棉花棒、废弃物勿随手丢，应置入垃圾桶内。 3.勿将酸及有机溶剂混合倾倒，以免爆-炸。 4.各种酸硷废液需倒入指定之排放口，以便中和后排放。 5.有机溶剂分别倒入容器中储存，勿倒入排水系统中。 其他注意事项： 1.非必要勿进入洁净室，可利用传递箱传递芯片及物品。 2.勿在洁净室内踏步来回走动。 3.非必要禁止停留在洁净区域内。
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。其洁净度级别从10万级—30万级，按用途可以分为工业洁净室、生物洁净室、微生物安全实验室；气流组织可分为单向流和非单向流；其中单向流又可分为垂直流和水平流。
