20世纪80年代，原来从事变压吸附制氧装备研制单位的开发项目相继中止，中国变压吸附制氧技术的开发再次进入低谷。1995年，昆山锦沪机械有限公司在河南洛阳钢铁厂建成VPSAO1000Nm3/h制氧机，标志着变压吸附在中国正式进入工业领域，小型制氧机，也标志着变压吸附在中国进入高速发展时期。
富氧膜制氧机：这种制氧机采用膜制氧方式，昆山制氧机，通过膜对空气中氮分子的过滤，达到出口氧气30%的浓度，具有体积小，用电量小等优点。但是采用这种制氧方式的机子制得的是30%的浓度的氧，可用于长期的氧疗保健，而严重缺氧状态下所需的急救只能用医疗高浓度氧。
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