PSA制氮机
较小直径的气体（氧气）扩散较快，较多进入分子筛固相，这样气相中就可以得到氮的富集成分。一段时间后，分子筛对氧的吸附达到平衡，根据碳分子筛在不同压力下对吸附气体的吸附量不同的特性，降低压力使碳分子筛解除对氧的吸附，封闭式制氮机，这一过程称为再生。变压吸附法通常使用两塔并联，箱式制氮机组，交替进行加压吸附和解压再生，从而获得连续的氮气流。
深冷制氮的工艺流程和设备
深冷制氮的典型工艺流程：
整个流程由空气压缩及净化、空气分离、液氮汽化组成。
空气压缩及净化
空气经空气过滤器清除灰尘和机械杂质后进入空气压缩机，压缩至所需压力，然后送入空气冷却器，制氮机，降低空气温度。再进入空气干燥净化器，除去空气中的水份、二氧化碳、yi炔及其它碳氢化合物。
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制氮机，是指以空气为原料，利用物理方法将其中的氧和氮分离而获得氮气的设备。
深冷空分制氮
深冷空分制氮是一种传统的制氮方法，已有近几十年的历史。它是以空气为原料，箱式制氮机，经过压缩、净化，再利用热交换使空气液化成为液空。
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