层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100-%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，10000级洁净室，维修更换过滤器较麻烦。
风淋室
风淋室系列产品是一种通用性较强的局部净化设备，安装于洁净室与非洁净室之间。当人与货物要进入洁净区时需经风淋室吹淋，其吹出的洁净空气可去除人与货物所携带的尘埃，能有效的阻断或减少尘源进入洁净区。风淋室/货淋室的前后两道门为电子互锁，洁净室建设，又可起到气闸的作用，阻止未净化的空气进入洁净区域。
货淋室
货淋室，马鞍山洁净室，固名思义，万级洁净室，即为货物专用的吹淋室，又称之为货淋通道、货淋门、广泛适用于电子，食品、包装企业的物流通道处，对即将进入洁净车间进行操作加工的货物原材料及工具进行吹淋，达到过滤去除灰尘粒子，进入无尘车间的原材料洁净的效果.因每个企业物流通道的现场尺寸以及需要吹淋的货物原材料运输方式大小的不同，故货淋室没有统一的标准，全部为非标产品。货淋在功能上既有普通型货淋室，又有红外线语音提示型货淋室，还有自动移门式货淋室。
洁净度100级 cleanliness class 100
洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的尘粒数为0。周期中建立模范标准的决心。
洁净度1000级 cleanliness class 1000
洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。
