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无尘车间等级划分

      依据美国联邦政u颁布的标准,可将东莞无尘车间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘车间的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5μm,例如,1级、10级、100级东莞无尘车间尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5μm,无尘车间等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的无尘车间之洁净度必须优于1000级。


无尘车间等级划分

所谓的无尘车间是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,昆山涂布无尘车间,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,涂布无尘车间设计,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,涂布无尘车间哪家好,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。


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