净化车间的清理流程
净化车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室等,万级涂布无尘车间,主要是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等排出,并可以控制室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、静电等在一个规定的范围内,是生产产品工艺要求洁净度高的最实用的厂房设计。就是不管是外在的空气条件怎么,百级涂布无尘车间,其室内均能俱有维持要求的洁净级别、温湿度及压力等。
1、清洁净化车间内的墙时应使用净化车间的无尘布;
2、清洁时实用净化车间专用的清洁剂,或使用已获批准的净化车间专用去污剂;
3、每天都要检查净化车间和物料间的垃圾箱,并及时清走。
4、净化车间的地板都要吸尘,清除残留的灰尘,交接班时标明工作完成情况,方便清理。
5、清洁净化车间的地面应使用专用的净化吸尘器。
7、吸完净化车间的地后再擦拭,一周擦一次墙面。
8、工作时一定要记住,成都涂布无尘车间,永远是由上往下擦,从离门最远的地方向门的方向擦。
9、定时做好清洁记录,保证净化车间正常工作。
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无尘车间等级划分
所谓的无尘车间是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起,涂布无尘车间布局,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。
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