用途
三氟化氮主要用途是用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，三氟化氮，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所 HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子 蚀刻气体，对硅和 氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与 氧气的 混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。
物理性质
三氟化氮，分子式：NF3。气体分子量：71.01，熔点：–206.8℃（1atm），沸点：–129℃（1atm），临界温度：–39.3℃，临界压力：44.02atm（4.46MPa），液体密度：1554 kg/m<sup>3（1atm，沸点时），气体密度：2.95 kg/m（1atm，21℃），水中溶解度（1atm，22℃）：1.43×10-5 当量浓度。纯净的NF3气体是一种无色无味的气体，当混入一定量的杂质气体后颜色发黄，同时会有发霉或刺激性气味。NF3气体不可燃， 但能助燃。当温度超过350℃时，三氟化氮减压阀，三氟化氮气体会缓慢分解，三氟化氮气体，分解时产生强 氧化性氟。因此，在 高温下它是一种 强氧化剂。CAS号：7783-54-2。危险性类别：第2.3类有毒气体，在空气中的允许含量为29mg/m。
身体防护：穿防毒物渗透工作服。 手防护：戴橡胶手套。 其它：工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。 三、急救措施 皮肤接触：脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。若有灼伤，就医。 眼睛接触：立即提起眼睑，三氟化氮，用流动清水冲洗15分钟。就医。 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 灭火方法：消防人员必须穿戴全身防火防毒服。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫。
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