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微波等离子技术集成电路封装过程中,会产生各类污染物,包括氟、镍、光刻胶、环氧树脂和氧化物等,其存在会降低产品质量.微波等离子清洗技术作为一种精密干法清洗技术,可以有效去除这些污染物,改善材料表面性能,增加材料表面能量.本文介绍了微波频...


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微波等离子技术

集成电路封装过程中,会产生各类污染物,包括氟、镍、光刻胶、环氧树脂和氧化物等,其存在会降低产品质量.微波等离子清洗技术作为一种精密干法清洗技术,可以有效去除这些污染物,改善材料表面性能,增加材料表面能量.本文介绍了微波频等离子清洗原理、设备及其应用,并对清洗前后的效果做了对比.

等离子体工艺是干法清洗应用中的重要部分,随着微电子技术的发展,lcd等离子清洗,等离子体清洗的优势越来越明显.文章介绍了等离子体清洗的特点和应用,讨论了它的清洗原理和优化设计方法.最后分析了等离子体清洗工艺的关键技术及解决方法.


等离子机

增加切割电流同样能提高等离子弧的功率,但它受到最大允许电流的限制,景德清洗,否则会使等离子弧柱变粗、割缝宽度增加、电极寿命下降。折叠气体流量增加气体流量既能提高弧柱电压,又能增强对弧柱的压缩作用而使等离子弧能量更加集中、喷射力更强,因而可提高切割速度和质量。但气体流量过大,反而会使弧柱变短,清洗fpc,损失热量增加,使切割能力减弱,直至使切割过程不能正常进行。折叠电极内缩量所谓内缩量是指电极到割嘴端面的距离,AFC清洗,合适的距离可以使电弧在割嘴内得到良好的压缩,获得能量集中、温度高的等离子弧而进行有效的切割。距离过大或过小,会使电极严重烧损、割嘴烧坏和切割能力下降。内缩量一般取8-11mm。