尽管洁净室仍然需要过滤空气，但过滤器的数量逐渐从完全覆盖率降低到到35%覆盖率。结果，流过整个空间和经过架空地板的空气流量减少，穿孔地板的数量减少了，从而在洁净室里更多地使用实心地板。
传统的地板系统的接地方法在工业中没有多大改变。通常的方法是夹在支架上，洁净室安装，然后连在一起接到建筑物的接地系统里。防静电地板已经被广泛应用，它利用特殊的具有耐化学腐蚀性的乙烯基材料，而且含有碳元素，具有必要的导电率。地板块的下方，每个支架顶端，放置一个乙烯基/铁丝网接地垫。这保证系统中电流正确贯穿所有构件。
洁净室测试步骤：
各区之间的气流控制：
（1）各区间的压差正确；
（2）门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，洁净室升级，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
2．送风量与排风量：如果是紊流洁净室，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室，则要测量其风速。
3．隔离检漏：这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。
洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，江门洁净室，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级10，实验室洁净室，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
