、开发高精度的测试系统在目前的超精密加工领域中，对加工 精度的测量主要有两种方法;激光检测和光栅检测，而光栅的应用最为广泛。目前光栅的测量精度可达nm级，如北京光电仪研究中心的光栅系统可达0.1μm，俄罗斯的全息光栅系统达10nm，LG100光栅系统的分辨率可达0.1μm，d型橡胶硬度计，测量范围为100mm。 开发系统误差小、精度高和可靠性高的检测仪器和控制装置的前提是开发高性能的传感器以及伺服从动机构。如果开发出高性能的传感器以及伺服机构及高精度、高速度、和高可靠性的读出装置，就可通过使用计算机进行检测、分析及计算，以提高检测精度。
百分表·简介: 百分表是一种精度较高的比较量具，NIKON橡胶硬度计，它只能测出相对数值，主要用于检测工件的形状和位置误差（如圆度、平面度、垂直度、跳动等），也可用于校正零件的安装位置以及测量零件的内径等。·操作方法1）测量前检查测量杆活动是否灵活：轻推测量杆时，测量杆在套筒内移动灵活，松手后指针能回到原来的刻度位置。2）将百分表装夹在固定表座上，使测量杆垂直于被测平面并与之紧密接触（测量圆形工件时使测量杆与工件中心线垂直），旋转外表盘使大指针与外表盘零刻度线对齐，在水平台上均匀移动被测工件直至测量头与被测要素全部接触（测量圆形工件时使工件以中心轴线为基准旋转一周）。3）读数：先读取小指针转过的刻度线（毫米整数），爱森橡胶硬度计，再读取大指针转过的刻度线（第n格）。 相对测量数值=小指针毫米整数+n*大表盘精度
深度游标卡尺·用于测量凹槽或孔的深度、梯形工件的梯层高度、长度等尺寸，平常被简称为“深度尺”。·操作方法：1）测试前用软布擦净测量端面，检查尺框和主尺身的零刻度线是否对齐，若未对其，南通橡胶硬度计，应根据原始误差修正测量读数。2）测量时先将尺框的测量面贴合在工件被测深部的顶面上，注意不得倾斜，然后将尺身推上去直至尺身测量面与被测深部手感接触，然后锁紧紧固螺钉。3）读数：以尺框零刻度线为准，读取毫米整数，再读出尺框上第n条刻度线与尺身刻度线对齐，读出尺寸L=毫米整数部分+n*分度值。
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