等离子机的发展
2014年7月开始研制，COG清洗，2016年4月10日首套离子回旋天线2084个零部件全部完成，OLED基板清洗，法国专家检测表明天线各个关键部件满足先进技术指标和总体性能要求。在研制过程中科研人员通过不断试验，创新使用实时温度监控和激光动态检测相结合方法攻克了天线小变形、低磁导率（μ＜1.05）关键焊接工艺、异形曲面成型等关键技术问题，吉安清洗，通过应用无损检测技术和高温高压多循环真空漏率检测技术，确保了天线部件所有密封焊缝质量均满足超高真空漏率要求（q＜2.5×10-10Pa.m3/s）。
等离子清洗技术
CFC清洗在过去的清洗工艺中占有最重要的地位，但由于其损耗大气臭氧层，而被限制使用。对于替代工艺，在清洗过程中，不可避免地存在需后续工序的烘干(ODS类清洗不需烘干，但污染大气臭氧层，目前限制使用)及废水处理，人员劳动保护方面的较高投入，特别是电子组装技术、精密机械制造的进一步发展，对清洗技术提出越来越高的要求。环境污染控制也使得湿法清洗的费用日益增加。
