一种低温等离子体清洗设备，封装清洗，该设备低温等离子体发生装置、履带输送机构、自动上料、下料机构以及受控驱动电机设置在密封反应仓内，该反应仓两端的进出物料口处各设置一个风门阻隔装置，OLED清洗，履带输送机构履带呈水平设置，COG端子清洗，自动上料机构和自动下料机构分置履带两端并靠近反应仓进出物料口处，低温等离子体发生装置设置于履带上方，数种气源经多气体比例混合供给装置和管道进入低温等离子体发生装置的辉光放电腔体内，在高频高压电源的作用下形成等离子体态工作气体束流并射向履带上的物料，进行物理和化学方式清洗。
等离子体所与核工业二三建设公司签署战略合作协议
11月24日上午，中科院等离子体所与中国核工业二三建设有限公司签署战略合作协议。等离子体所所长万宝年与中国核工业二三建设有限公司董事长、党委书记徐永强代表双方签字。
中国核工业二三建设有限公司副总经理范凯，宿迁清洗，国际事业部总经理冯满军、总工程师张伟栋，等离子体所党委书记张晓东、副所长吴新潮、所长助理赵君煜及相关部门负责人等出席签约仪式，中国国际核聚变能源计划执行中心房同珍处长见证全过程。
