等离子清洗机技术性能：
舱体尺寸:275X110（直径）mm;
舱体容积: 2.6L;
射频频率: 40KHz;
射频功率:10-200W无极可调;
电 源:220V 50/60HZ
电 流:1.2A;
时间设定:0-99分59秒;
气体稳定时间: 1分钟;
真空度:100pa以内;
等离子激发方式:电容式
外形尺寸:L*W*H500*460*240MM
整机重量:15Kg
等离子机的发展
2014年7月开始研制，在线等离子清洗机，2016年4月10日首套离子回旋天线2084个零部件全部完成，济宁等离子，法国专家检测表明天线各个关键部件满足先进技术指标和总体性能要求。在研制过程中科研人员通过不断试验，等离子表面处理机，创新使用实时温度监控和激光动态检测相结合方法攻克了天线小变形、低磁导率（μ＜1.05）关键焊接工艺、异形曲面成型等关键技术问题，通过应用无损检测技术和高温高压多循环真空漏率检测技术，确保了天线部件所有密封焊缝质量均满足超高真空漏率要求（q＜2.5×10-10Pa.m3/s）。
