检测标准：
1..噪声的检测。
2.照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。
3.振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。
4.温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，小型无尘车间，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，莆田无尘车间，检测回风温度。
5.总风量和新风量的检测。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或 电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，无尘车间造价，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿
。
