等离子体利用的是在0.13～13.3Pa的低真空条件下生成的离子
1. 33X10-5Pa高真空度下得到的离子射线法是有区别的。
2．等离子体在精密清洗中的应用
利用等离子体的干式清洗机理，COG清洗，目前还不完全清楚，南京清洗，感兴趣的读者可查阅有关专业书籍，这里只介绍一些具体应用。
目前应用于等离子体清洗的气体包括N2、Ar、NF3、CF4等不活泼气体和氧气等活泼气体。
等离子体所承担的首‘个国家重点研发项目启动会召开
国家重点研发计划“大科学装置前沿研究”重点专项“高密度下加热及电流驱动效率和协同效应研究”项目启动会召开
10月10日，国家重点研发计划“大科学装置前沿研究”重点专项“高密度下加热及电流驱动效率和协同效应研究”项目启动会在等离子体所召开。科技部高技术研究发展中心、项目专家组、等离子体所以及项目课题成员共五十余人与会。詹文龙院士担任项目专家组组长。
