等离子机的发展
2014年7月开始研制，2016年4月10日首套离子回旋天线2084个零部件全部完成，法国专家检测表明天线各个关键部件满足先进技术指标和总体性能要求。在研制过程中科研人员通过不断试验，商丘清洗，创新使用实时温度监控和激光动态检测相结合方法攻克了天线小变形、低磁导率（μ＜1.05）关键焊接工艺、异形曲面成型等关键技术问题，通过应用无损检测技术和高温高压多循环真空漏率检测技术，电路板清洗，确保了天线部件所有密封焊缝质量均满足超高真空漏率要求（q＜2.5×10-10Pa.m3/s）。
等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性质的具体应用：
主要技术参数：
广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最‘优质产品，以保证性能技术稳定。等离子表面处理设备特点：等离子清洗机清洗效果好，OLED清洗，效率高，应用范围广。对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求 等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。射频功率无极连续可调。
