从过去到现在
传统方式安装一个洁净室地板系统，是在一种叫做“开孔华夫板（open waffle slab）”的上面铺设。这种华夫板是混凝土矩阵结构，带有开孔，便于维修和空气流通。洁净室地板系统就组装在这个矩阵结构之上，支架设在华夫板的开孔之间，支撑洁净室地板系统。支架通常是2×2英尺，装配2×2英尺的地板或通路地板块。洁净室对气流的要求已经发生改变。因为制造空间采用了微环境，净化的空气过滤器数量减少了。由于产品是放在前开式标准片盒（FOUP）里或一个晶圆传送系统里，把材料传送到每个微环境中去，在那里进行加工处理。
洁净室(Clean Room）也叫无尘室、无尘车间、洁净厂房、无尘厂房、洁净车间，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，洁净室厂家，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，洁净室 造价，而所给予特别设计之房间。洁净室应用涉及到光学电子、半导体芯片、LED液晶制造，净化 洁净室，生物医药、精密仪器、饮料食品，广东洁净室，PCB印刷等高新技术企业，以及医院和美容等行业的洁净手术室(无尘手术室).
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