为了半导体清洗技术能满足不断出现的新需求，必须对现有工艺进行调整和修改。随着纵向尺寸持续缩小，腐蚀，清洗操作过程中的材料损失和表面粗糙就会成为必须关注的领域。将微粒去除而又没有材料损失和图形损伤是最基本的要求，因此必须考虑周全并有所折衷。
超声波清洗机的运用
超声波清洗机是20 世纪开展起来的高新技巧， 是一种新兴的、多学科穿插的边沿科学， 已引起美国、德国、加拿大、日本和中国等国度科技任务者的普遍关注。超声波清洗机的开展给化工、食品、生物、医药等学科的钻研开辟了新范畴，硅片腐蚀， 超声波清洗机 从运用上对上述工业发作严重影响。作为声学钻研范畴的重要组成局部， 超声在现代分别技巧中的钻研也获得了肯定停顿。目前以为超声波具备3 种基本作用机制 ，SPM腐蚀设备， 即机械力学机制、热学机制和空化机制。因为超声波作用的奇特征， 已日益显示出其在各分别范畴的重要性。超声作用于两相或多相体系会发作各种效应， 如空化效应、湍动效应、微扰效应、界面效应和聚能效应等， 其中湍动效应使边界层变薄， 增大传质速率； 微扰效应强化了微孔分散； 界面效应增大了传质外表积； 聚能效应活化了分别物资分子。一切这些效应会引起流传媒质特有的变更， 因此从整体上匆匆进了分别历程。
民用清洗机
在财发作打造劳动过程当中触及到的清洗机都属于财打造清洗机的范畴。食品财打造。纺织财打造。造纸财打造。印刷财打造．石油加财打造。交通运输业，电力财打造、金属加财打造、机械财打造．汽车打造，仪器仪表，电子财打造、邮电通讯、家用电器．医疗仪器。光学打造品、军事设备，航空航天，原子能财打造等都大量应用到清洗机手艺。
清洗机 概略从不同的角度发展分类，按照清洗机范畴的不同，当前通常将清洗机分为民用清洗机与财打造清洗机两类
清洗机 是一种与人们保存实际干系尤其密切的劳动，人类从泰早期间就劈头从事这类劳动。由于保守?清洗机操作容易，或只是作为一道工序依附于生打造过程当中，不有引起广?泛关注。进入21世纪，人们保存已?经从温饱阶段进入到舒应时代，对于清洗机打造品越来越多的重要，加快了新打造品研发挨次；同时，打造业的高速发展，也促成了清洗机装备、清?洗剂等企业的快速前进。民用、财打造两大清洗机范畴宏壮的市场重要，培育种植提拔了中国清洗机行业簇新的将来。
